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半导体行业废气处理方案
    对于半导体厂家而言,在去光阻工序中常会使用的去光阻液,虽绝有些工厂车间目前都已采用冷凝吸收器进行去光阻工序排气前的预处理净化并回收,回收效率约在90%以上,但对于其所衍生的低浓度(<5ppm)有机恶臭污染物,碍于既有处理等级限制,无法将所有问题一并解决,也长期造成从业者许多困扰,这些含硫化合物气体不但是造成高科技业或相关园区废水厂空气污染臭味投诉的主因,同时也是使被污染的空气导引进入如半导体晶圆制造厂及TFT-LCD。
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